產品[
質譜分析儀
]資料
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產品名稱: 質譜分析儀
產品型號:
產品展商:
MKS
產品文檔:
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簡單介紹
Micro Vision2 產品的技術是基于MKS殘余氣體分析質譜傳感頭和氣體監控系統的核心技術，利用*先進的射頻電路模塊和數據采集電路模塊，具有**的性能，為要求*嚴格的應用所需，雙CPU提供了高穩定的運行，快速和寬范圍的動態掃描，使得工藝偏差和氣體成分改變的監測變得很容易及**的通訊功能。靈活的輸入輸出性能，易與機臺和其他傳感器連接。質量數范圍：1-300可選，雙檢測配置。
eVision 2 基于以太網的低成本的殘余氣體分析儀。利用Web瀏覽器或通過EasyView軟件方便地操作系統。質量數范圍：1-200可選，雙檢測器配置可選。
質譜分析儀的詳細介紹
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工藝監控
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TOOLweb 工藝和工藝腔環境監測
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Vision 2000-B 真空本底殘余氣體分析儀
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Vision 2000-C 化學氣相沉積（CVD）工藝殘余氣體分析儀
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Vision 2000-E 刻蝕（Etch）工藝殘余氣體分析儀
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Vision 2000-P 物**相沉積（PVD）工藝殘余氣體分析儀
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200-300mm Resist-Torr 光刻膠檢測器
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HPQ3 高壓殘余氣體分析儀， 主要用于PVD工藝氣體檢測
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大氣壓氣體分析儀
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Cirrus 2 四極質譜儀 工作在大氣壓力下的桌上型四極質譜儀，可用于在線測量和分析氣體以及其體組成。